← 返回 JSSC 论文列表JSSC 2011第1期Image Sensors0.18微米CMOS Image Sensor
A Range Image Sensor Based on 10- 22m Lock-In Pixels in 018-22m CMOS Imaging Tec
基于0.18微米CMOS技术的锁相像素阵列设计，用于飞行时间测距成像。
0.18微米CMOS, 50MHz解调频率, 2.7cm精度, 5-20fps帧率
飞行时间测距锁相像素CMOS成像三维成像光解调器
▸创新点1：埋沟道光探测器设计（方法创新）。该设计通过优化光生载流子的传输路径，显著提高了光电探测效率，同时降低了噪声干扰，为高精度飞行时间成像提供了基础支持。
▸创新点2：10微米像素间距与24%填充因子（电路创新）。通过紧凑的像素布局和优化的光电二极管结构，实现了高像素密度下的高填充因子，提升了传感器的空间分辨率和光收集效率。
▸创新点3：50MHz解调频率与29.5%对比度（系统创新）。该设计通过高频解调技术，显著提高了传感器的响应速度和信号对比度，使其能够在复杂环境中实现高精度的三维成像。
▸创新点4：0.18微米CMOS成像技术（工艺创新）。采用先进的CMOS工艺，实现了高集成度和低功耗，同时保证了传感器的高性能和可靠性，为大规模应用提供了可能。
Abstract
This paper presents the design and characterization
of a lock-in pixel array based on a buried channel photo-detector
aimed at time-of-flight range imaging. The proposed photo-demod-
ulator has been integrated in a 10-
m pixel pitch with a fill factor
of 24%, and is capable of a maximum demodulation frequency
of 50 MHz with a contrast of 29.5%. The sensor has been fab-
ricated in a 0.18-
m CMOS imaging technology and assembled
in a range camera system setup. The system provides a stream of
three-d