▸创新点1:亚0.1偏置不稳定性设计通过优化MEMS陀螺仪的结构和材料,实现了低于0.1°/h的偏置不稳定性,显著提高了陀螺仪的长期稳定性和精度,适用于高精度导航系统。
▸创新点2:分离模式MEMS结构采用独特的机械解耦设计,有效减少了模式间的干扰,提升了陀螺仪的信噪比和灵敏度,同时降低了功耗和体积。
▸创新点3:集成CMOS读出电路通过创新的电路设计,实现了MEMS陀螺仪与CMOS读出电路的高效集成,提高了信号处理的速度和精度,同时降低了系统的复杂度和成本。
▸创新点4:系统级优化通过结合MEMS结构和CMOS电路的协同设计,实现了整体性能的提升,包括温度稳定性、抗干扰能力和功耗优化,适用于严苛环境下的应用。