▸创新点1:相位域读出技术 - 该方法通过将CO2浓度变化转换为相位信号,显著提高了信号的信噪比和分辨率(>20dB),相比传统幅度域读出技术具有更强的抗干扰能力。
▸创新点2:CMOS兼容设计 - 采用标准CMOS工艺集成热丝传感单元与读出电路,实现了传感器的小型化(芯片面积<1mm²)和低成本制造,为大规模工业应用提供了可能。
▸创新点3:高灵敏度CO2检测 - 通过优化热丝材料与相位检测算法的协同设计,实现了<50ppm的检测极限,比同类传感器灵敏度提升30%以上。
▸创新点4:自适应温度补偿 - 创新性地在相位域中嵌入温度补偿算法,解决了热丝传感器固有的温度漂移问题,使长期稳定性提升至<1%/年。