机构

TSMC

2 篇

ISSCC 2024Session 3Analog Circuitsadvanced FinFET node
Bei-Shing Lien*, Szu Lin Liu*, Wei-Lin Lai, Yi-Chen Lu, Yung-Chow Peng, Kenny Cheng-Hsiang Hsieh
该论文提出了一种基于后段互连(BEoL)RC结构的温度传感器,在0.65V低电压下工作,面积仅900μm²,实现了从-25°C到125°C范围内±1°C的测温精度。通过利用BEoL电阻和电容的温度特性,解决了先进FinFET节点中低电压和有限无源器件类型带来的挑战,实现了小面积、高精度的片上温度监测。
采用BEoL RC结构作为感温元件,避免了传统有源器件在低电压下的性能退化,实现了低电压工作。
通过优化RC振荡器拓扑和数字校准技术,在极小面积(900μm²)下达到±1°C的高精度,适用于热点温度监测。
ISSCC 2017Session 5Analog Circuits
Ying-Chih Hsu1, Chia-Liang Tai1, Mei-Chen Chuang1, Alan Roth2, Eric Soenen2
提出了一种动态分布偏置温度传感器,通过动态元件匹配(DEM)技术显著改善系统失配,未修调条件下达到0.87°C(3σ)的高精度,同时功耗仅18.75μW,面积仅0.00946mm²。
采用动态分布偏置(Dynamic-Distributing-Bias)技术降低功耗并提高能效
引入动态元件匹配(DEM)技术,将未修调3σ温度误差从20°C改善至1°C,并解决输出非单调性问题